高能电子束纳米曝光系统的研制

摘要：

本文主要介绍了高能电子束纳米曝光系统重点环节的研制方案,在部分研制工作完成的基础上,进行了初步曝光实验,并就其结果进行了理论分析.

关键词： 电子束曝光机 纳米曝光系统 电子束光刻

作者: 田丰 韩立 顾文琪

作者单位: 中国科学院电工研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学会议

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 641-642

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）