会议专题

石英微机械振动陀螺振子的失效分析

本文采用能谱技术对石英微机械振动陀螺振子微观所显示的各个区域及边缘不规则堆积物检测,旨在提高微电子加工水平.

微机械惯性器件 石英微机械振动陀螺振子 失效分析 能谱仪

荣丽梅 常嗣和 姬红 阮世池

电子科技大学微固学院分析中心(四川成都) 成都理工大学电镜室(四川成都)

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620-621

2003-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)