Monte Carlo模拟有特殊几何边界试样的扫描电镜成像衬度

摘要：

本文采用蒙特卡洛模拟方法研究电子在有几何边界的试样表面附近及内部的相互作用,有助于理解扫描电子显微镜的成像机制和图象衬度机理.

关键词： 扫描电子显微镜 蒙特卡洛模拟 几何边界试样 衬度 二次电子

作者: 李会民 丁泽军

作者单位: 中国科技大学结构分析重点实验室,物理系(安徽合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学会议

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 514-515

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）