微桥式传感器在微小气体流量测量中的应用

摘要：

介绍一种新型气体流量传感器——AFM系列微桥式气流质量传感器在微小气体流量测量中的应用.简介其原理和在尘埃粒子计数器中的应用,并与浮子式流量计相比较,它可使尘埃粒子计数器体积减小、操作简便、检测精度提高.

关键词： 气体流量测量 传感器 尘埃粒子计数器 浮子流量计

作者: 张敏 周鑫玲 王向军

作者单位: 天津大学精密仪器与电子工程学院(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 98-99

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）