退火制度对PZT铁电薄膜性能的影响

摘要：

铁电薄膜的性质对于硅基MEMS器件有重要的影响,鉴于此本文尝试通过改善退火工艺以提高PZT薄膜的铁电和压电性质.采用溶胶凝胶法,在Si/SiO<,2>/Ti/Pt衬底上制备了PZT铁电薄膜.实验中,采用一次退火工艺和每层退火工艺制备了两种PZT薄膜,采用XRD对薄膜的晶体结构进行分析,通过C-V和I-V特性的研究发现,每层退火工艺有助于提高PZT薄膜的C-V性质,并降低漏导电流.

关键词： 溶胶凝胶 漏导电流 铁电薄膜 退火工艺

作者: 张宁欣 侯生根 任天令 刘理天

作者单位: 清华大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 309-310

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）