非晶硅TFT室温红外探测器的光学特性研究

摘要：

针对非晶硅薄膜晶体管室温红外探测器的实际结构,提出了两种计算红外吸收率的数学模型,并结合光学导纳矩阵法研究了它的光学特性.对钝化层的结构和材料进行了优化设计,并用在了实际阵列的制作中.

关键词： 非晶硅 薄膜晶体管 红外探测器 红外吸收率 光学特性

作者: 张万杰 董良 岳瑞峰 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 300-301,306

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）