无损检测技术在垂直Bridgman晶体生长中的应用

摘要：

分别介绍了国内外X射线检测法、超声波检测法以及涡电流检测法第三种无损检测法在垂直Bridgman晶体生长中的应用,讨论了其各自的优缺点.

关键词： 半导体材料 无损检测 晶体生长

作者: 魏捷 黄为民 沈昱明

作者单位: 上海理工大学(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 291-294

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）