TFT的热电特性及其在室温IRFPA中的应用

摘要：

描述了非晶硅薄膜晶体管(TFT)的热电特性,表明TFT是一种有潜力的室温红外焦平面阵列(IRFPA)的敏感元件,介绍了集成式8×8TFT IRFPA的主要制作工艺,并给出了实验结果.

关键词： 薄膜晶体管 非晶硅 热电特性

作者: 董良 岳瑞峰 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 276-277

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）