用于集成磁传感器的热稳定巨磁电阻自旋阀

摘要：

研制了一种传统结构的上钉扎巨磁电阻自旋阀,其结构为:Ta(6nm)/Ni<,81>Fe<,19>(4.5nm)/Co<,90>Fe<,10>(1nm)/Cu(1.8nm)/Co<,90>Fe<,10>(3.5nm)/Ir<,20>Mn<,80>(11nm)/Ta(3nm).该自旋阀磁电阻变化率大(9.15％),交换场高(约200Oe),矫顽力低(0.85Oe),灵敏度高,且具有良好的热稳定性,加之与IC工艺兼容,因而是一种制作集成磁场传感器的理想结构.

关键词： 巨磁电阻 自旋阀 热稳定性 集成磁传感器

作者: 曲炳郡 任天令 刘华瑞 刘理天 库万军 李志坚

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京) 深圳市华夏磁电子公司(深圳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 272-273

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）