混频式环振压力传感器

摘要：

为了解决传感器的数字化,提出了一种新的环振式数字压力传感器,它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件,采用混频器作为片内的信号处理单元,实现环形振荡器的频率相减.该传感器的输出量为频率信号,具有准数字输出、灵敏度高、温度系数低以及制作工艺简单等特点.样品的灵敏度为1.52kHz/kPa.

关键词： 压力传感器 环形振荡器 混频器

作者: 张兆华 岳瑞峰 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 210-211

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）