压电微传声器的有限元分析

摘要：

利用ANSYS软件建立了压电微传声器的有限元模型,对器件进行了结构静力分析、模态分析、谐波分析,计算模拟出微传声器的本征频率.通过模拟和分析,对压电传声器的设计参数进行了优化.对比表明,有限元分析的结果与解析方法以及实验结果相一致.

关键词： 压电传声器 有限元分析 电压灵敏度

作者: 杨轶 张林涛 任天令 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 194-195

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）