白光干涉法测量金属箔厚度

利用白光作光源的干涉仪(WLI)克服了单色相干光干涉相位不确定的缺点,能够进行绝对测量.同时,白光光源的稳定性和低廉的价格也是此项技术的优势,因此白光干涉测量法在近十几年得到了很大的发展.本文提出了用白光干涉原理测量金属箔厚度的方法,经分析,测量的理论误差<6nm,开辟了白光干涉法测量非透明物体厚度的新思路.
白光干涉 无损检测 干涉谱 金属箔 厚度测量
陈慧芳 严惠民 施柏煊
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室(杭州)
国内会议
沈阳
中文
19-20,24
2003-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)