会议专题

白光干涉法测量金属箔厚度

利用白光作光源的干涉仪(WLI)克服了单色相干光干涉相位不确定的缺点,能够进行绝对测量.同时,白光光源的稳定性和低廉的价格也是此项技术的优势,因此白光干涉测量法在近十几年得到了很大的发展.本文提出了用白光干涉原理测量金属箔厚度的方法,经分析,测量的理论误差<6nm,开辟了白光干涉法测量非透明物体厚度的新思路.

白光干涉 无损检测 干涉谱 金属箔 厚度测量

陈慧芳 严惠民 施柏煊

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室(杭州)

国内会议

第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

沈阳

中文

19-20,24

2003-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)