空穴注入型CuPc二氧化氮气体传感器研究

摘要：

讨论了一种新型的基于空穴注入效应的电导型CuPc薄膜二氧化氮气体传感器,其器件结构为:采用溅射工艺的ITO(InO、ZnO)作下电极,真空蒸发CuPc薄膜作为敏感功能层,上电极为AL叉指电极.这种CuPc传感器与传统的AlO<,3>/CuPc/Al相比,电阻下降了3~4个数量级.同时讨论了该传感器的敏感特性.

关键词： 酞菁铜 氧化铟锡 空穴注入 敏感特性 气体传感器

作者: 王涛 蒋亚东 黄春华

作者单位: 电子科技大学光电信息学院(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 177-178

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）