光学元件形貌的双波长干涉测量

摘要：

本文提出了一种利用双波长激光干涉产生交叉的干涉条纹测量光学元件三维面形的方法.该方法可以有效地提取干涉图像中更多的数据点,恢复被测元件的三维形貌.一定程度上解决了大口径光学元件三维形貌测量中数据点密度不足的问题.

关键词： 双波长激光干涉 交叉条纹 三维形貌测量 光学元件

作者: 高亮 曾理江

作者单位: 清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第五届青年学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 98-100

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）