纳米测量系统的研究现状与展望

摘要：

本文介绍了纳米测量系统的各个组成部分,即探测系统、位移系统、计量系统、信号处理及控制系统,综述了国内外的研究状况和相关产品,在此基础上提出了一种集驱动、定位、测量、伺服控制、信号处理等技术于一体的实用型二维纳米测量技术,并对其应用前景作了展望.

关键词： 纳米测量 纳米技术 干涉仪 纳米驱动

作者: 齐永岳 赵美蓉 林玉池

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第五届青年学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 91-94

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）