光学薄膜在线宽光谱膜厚控制仪

摘要：

本文介绍了一种高性能的实时宽光谱膜厚控制仪的设计与制作,详细介绍了该系统的工作方式及设计思想.实验表明该系统可以用于光学薄膜在线实时监控和光学薄膜光谱特性检测,并可能基于该系统开发薄膜自动控制系统.

关键词： 膜厚监控 在线监控 光学薄膜 膜厚控制仪

作者: 张诚 卢维强 王涌天 郝群

作者单位: 北京理工大学信息工程学院光电工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第五届青年学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 85-87

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）