非扫描并行三维共焦检测技术综述
共焦测量方法由于其高精度、高分辨率及易于实现三维成像数字化的独特优势而被广泛应用.近年来,非扫描三维并行共焦技术引起各国专家的普遍关注,该技术将单点扫描变为多路并行探测,同步对被测表面的不同点进行检测,从而无需扫描实现全场同步测量.该文论述了近年来国内外在共焦并行全场检测技术方面的研究进展,介绍了国内外几种并行共焦检测系统的情况,及作者已进行的有关研究进展.
三维探测 共焦并行探测 微光学器件 共焦测量
王永红 余晓芬 俞建卫 黄其圣 徐科军
合肥工业大学仪器仪表学院(合肥)
国内会议
天津
中文
8-11
2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）