MEMS粘着研究

摘要：

随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,尺寸效应对系统的影响越来越明显,如何控制微电子机械中的粘着力,已成为微电子机械系统提高性能、批量生产、走向市场的关键因素.本文首先介绍了国内外粘着力的研究理论;根据Hamaker理论,推导出圆锥-平面型、四棱锥-平面型、抛物面-平面型模型之间包含斥力项的粘着力表达式;并仿真得到数值结果,从而对微电子机械设计提供理论基础.

关键词： 微电子机械系统 粘着力 Hamaker理论

作者: 田文超 贾建援

作者单位: 西安电子科技大学机电工程学院机电科学与技术研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第五届青年学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 604-606

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）