钨青铜系列压电陶瓷驱动器迟滞特性的改善

摘要：

为提高微动工作台开环控制的定位精度,选用了性能稳定的新型钨青铜型多层片式压电陶瓷驱动器作为驱动元件.同时根据压电晶体的电畴结构和晶体结构原理,研制出抗迟滞驱动控制软件.实验证明,采用了这种新的驱动方式可以使驱动器的迟滞误差下降70％~90％.

关键词： 压电陶瓷 迟滞特性 开环控制 纳米测量 微动工作台 驱动器

作者: 邓辉 余晓芬 俞建卫

作者单位: 合肥工业大学仪器仪表学院 合肥工业大学机械与汽车工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第五届青年学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 585-587,591

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）