MEMS粘附问题研究

摘要：

针对MEMS粘附现象,论述了有关粘附问题的研究现状,揭示了粘附的本质和研究范围,介绍了目前研究粘附问题所用的分子动力学、连续介质法、准连续介质法、蒙特卡罗法及纳米压痕法和悬臂梁法等各种计算和实验的前沿方法,并对粘附研究的发展提出了初步展望.

关键词： 微电子机械系统 粘附 分子动力学 原子力显微镜

作者: 田文超 贾建援

作者单位: 西安电子科技大学机电工程学院(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第五届青年学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 582-584

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）