利用碳纳米管探针进行纳米加工的研究进展

摘要：

碳纳米管具有小的半径、高的长径比、高的弹性模量和弯曲强度和导电特性,这使得它很适合做原子力显微镜探针进行高分辨率测试和纳米级加工,并使加工的纳米点、线和复杂图形在加工过程中保持比较一致的形状和高的纵横比.文中提出了一套制备碳纳米管探针的热丝化学气相沉积(HF-CVD)装置,叙述了HF-CVD的原理、装置以及在纳米加工上的应用.

关键词： 纳米加工 碳纳米管探针 原子力显微镜 热丝化学气相沉积

作者: 胡小鹏 刘庆纲 匡登峰 李源 胡小唐

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第五届青年学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 559-562

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）