DMD弹性片同基底之间粘着力计算

摘要：

随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,粘着力对微电子机械性能影响越来越大.本文建立了DMD弹性片同基底之间纳米接触的物理模型;根据Hamaker理论和赫兹理论,用连续方法推导出粘着力的力学模型;仿真出粘着力及变形面同接触间距的关系;仿真结果同相关实验一致;从而为DMD设计,加工及纳米碰撞、纳米摩擦的研究提供理论基础.

关键词： 微电子机械 纳米接触 粘着力 数字微镜

作者: 田文超 贾建援

作者单位: 西安电子科技大学机电工程学院(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第五届青年学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 528-530

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）