MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现

摘要：

在MEMS动态测试过程中,由于MEMS器件的运动频率都比较高,如何获得高速运动的MEMS器件的清晰图像,是MEMS动态特征提取与分析的前提.本文基于机器微视觉的MEMS动态测试系统,设计了一套频闪驱动电路,用于采集高速运动的MEMS器件的清晰图像.从而为后续MEMS器件动态特征的提取和分析做充分的准备.

关键词： 动态测试 频闪 微电子机械系统 驱动电路

作者: 金翠云 李一博 靳世久 王立坤

作者单位: 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第五届青年学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 380-382

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）