用于射频通信领域的3-D MEMS电感设计

摘要：

研究了影响3-D MEMS电感的电感值和Q值的主要因素,提出了电感值和Q值的理论计算模型.并利用该理论模型,对不同尺寸结构的三维微机械电感进行了数值模拟.根据理论计算的结果,设计了应用于射频通讯领域的高Q值3-D MEMS电感,并研究了电感制造的工艺流程.

关键词： 射频通信 电感设计 光刻工艺 三维微机械电感

作者: 李雯 谭智敏 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 249-250

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）