紫外厚胶光刻技术在3-D MEMS电感中的应用

摘要：

研究了紫外厚胶光刻技术在三维微机械电感中的应用.实验用负性光刻胶SU-8构造了三维微机械电感的胶结构模型,并对光刻胶的工艺条件进行了研究.结果表明,负性光刻胶SU-8的光敏性好,形成的胶结构侧墙较陡直,能够实现较大的深宽比,为结构复杂的三维微机械电感的制作提供了保证.

关键词： 紫外厚胶光刻 电感 三维微机械电感 光刻胶

作者: 李雯 谭智敏 薛昕 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 247-248

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）