氧化钒热敏特性研究

摘要：

采用金属钒作为靶材,利用反应磁控溅射工艺制备了氧化钒薄膜.分析了改变溅射总压,溅射时间,溅射温度等工艺参数对薄膜电特性的影响,探索了氧化钒的成膜工艺.并讨论了不同工艺条件下薄膜方阻,薄膜电阻温度特性.最后对样品进行了XPS分析.

关键词： 氧化钒薄膜 电阻温度系数 成膜工艺 热敏特性

作者: 吴志明 蒋亚东 牟宏 黄春华

作者单位: 电子科技大学光电信息学院(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届”测量与控制在资源节约、环境保护中的应用”学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 237-238

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）