一种新型的大面积均匀表面波等高子体源

摘要：

该文介绍了一种新型表面波等离子体源。实验结果表明，该源成功地产生了直径在160nim以上、电子密度达 量级、电子温度只有儿个电子伏特的人面积均匀等离子体柱，特别适合了人面积、人体积的等离子体应用。

关键词： 大面积均匀表面波等离子体源 大面积均匀等离子体柱

作者: 吴丛凤 詹如娟

作者单位: 科技大学近代物理系 科技大学高等研究院(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国核学会核聚变与等离子体应用学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 288～292

在线出版日期: 1998-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）