Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性研究

摘要：

该文报道了所研制的的Waveguide-surfatron激发的表面波等离子体源的特性，理论计算表明，激发表面波模式为m≥模，在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出，采用Ar气放电，在气压为10-1000Pa，微波功率小于1000w范围内可形成大面积（直径为160mm），在体积均匀等离子体，其电子温度为1-4eV，等脑子体密度为10<”10>cm<”-3>，实测的等离子体密度值与理论计算的值基本相吻合。

关键词： 大面积均匀 等离子体源 表面波模

作者: 詹如娟 吴丛凤 朱小东 黄卫东 温小辉 武帅 周海洋

作者单位: 中国科技大学近代物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 70-74

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）