X射线衍射仪测膜潜能的开发及其应用
本文分析了开发传统的粉末X射线衍射仪测膜潜能的可行性,在不增添任何测试附件的情况下,成功地开发出纳米薄膜结构的通用测试技术.并分别以非晶玻璃上的透明导电膜和光学薄膜,单晶硅片中的镀金膜和多晶钢板上的氮化钛薄膜层物相的鉴别与分析为例,说明本法的应用.最后指出:采用扩展后的测膜潜能方法简便、数据可靠,结果与国际标准衍射卡很接近;并且由于设备一机多能,节省大量外汇,很利于推广应用.
粉末X射线衍射仪 纳米薄膜 微结构分析 非晶基片
石舜森 任山 谢鸿波 欧阳红群 石鑫
中山大学 广州市半导体材料研究所
国内会议
南宁
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207-213
2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）