电荷收集法测量低温等离子体密度

摘要：

利用电荷收集法,在正、负偏置和低真空背景三种不同收集条件下测量了用于等离子体断路开关的电缆等离子体枪产生的低温等离子体的密度和漂移速率.测量结果表明:三种收集条件下测得的等离子体漂移速率相近;在相同测量点处,负偏置收集条件下测得的等离子体密度大于正偏置和低真空背景收集条件下的测量值,而低真空背景收集条件下的测量值最小.不同收集条件下等离子体密度测量结果的偏差与国际上利用微波、光谱及干涉法获得结果的偏差相当.

关键词： 低温等离子体 等离子体断路开关 电荷收集法 等离子体密度

作者: 陈玉兰 曾正中 孙凤举 蒯斌 邱爱慈 丛培天 梁天学 王亮平 尹佳辉

作者单位: 西北核技术研究所(陕西西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国激光科学技术青年技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 474-477

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）