LPP-CVD法制备微球表面CH膜的反弹盘技术

摘要：

本文研究了在低压等离子体化学气相沉积技术进行微球表面CH膜的制备过程中的反弹盘的工艺技术,讨论了反弹盘的振动频率、表面情况以及微球静电等因素对微球跳动的影响,并给出了解决这些问题的方法.

关键词： 低压等离子体 化学气相沉积 CH膜 反弹盘工艺

作者: 魏胜 吴卫东 黄勇 冯建鸿 张继成

作者单位: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心(四川绵阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国激光科学技术青年技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 386-389

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）