螺旋波激发等离子体实验研究与铁梯度薄膜制备

摘要：

本文介绍了一种玻璃系统的螺旋波激发等离子体的发生装置,并以氢气为工作气体,对射频源功率P<,rf>、工作压强P及磁场强度B等影响等离子体电子密度n<,e>的工艺参数进行了考察;以氢气为载气,甲烷和二茂铁为工作物质,采用双气路进样系统,在国内首次制备出铁梯度薄膜.

关键词： 螺旋波激发等离子体 等离子密度 气相沉积装置 梯度薄膜

作者: 冯建鸿 黄勇 吴卫东

作者单位: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心(四川绵阳市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国激光科学技术青年技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 382-385

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）