ITO靶材的爆炸压实实验与应用前景

摘要：

主要讲述了ITO粉末爆炸压实的实验,实验中发现爆炸压实纳米ITO陶瓷粉末并经烧结处理获得的ITO靶材,其晶粒度比商业靶材小约一个数量级;并且发现,ITO在高温烧结的过程中,存在着严重的质量损失;在密封条件下烧结能够保证不发生质量的严重损失,并能在高温下烧结出高密度靶材块体.也展望了爆炸压实在特殊材料合成、制备中的应用.

关键词： 陶瓷靶材 爆炸压实 纳米陶瓷粉 氧化铟锡

作者: 李晓杰 张越举 王金相 阎鸿浩 奚进一

作者单位: 大连理工大学工程力学系(辽宁大连)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国爆炸力学学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 257-258

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）