关于CM真空表的使用及维修

摘要：

本文简要介绍了磁控溅射镀膜的基本原理以及CMH4系列真空表在G69真空磁控溅射镀膜生产线中的应用,并着重对其使用与维修进行探讨.

关键词： 真空表 镀膜玻璃 磁控溅射 镀膜工艺

作者: 沈传东

作者单位: 河南省振华玻璃厂(商丘市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第五届浮法玻璃及深加工玻璃技术研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 302-304

在线出版日期: 2003-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）