一种基于MEMS技术的可自检、高分辨率电容式加速度传感器设计

摘要：

本文简要介绍了一种基于MEMS技术设计制作的,具有零频、高分辨率和自检功能的高精度电容式加速度传感器.该传感器采用差动电容作为敏感元件,用闭环反馈力平衡技术和完整的信号调理电路构成闭环随动式加速度计.它可以用于桥梁及地震监测,楼宇建筑物的模态分析,汽车安全囊碰撞检测,刹车防锁及其振动、冲击的分析与抑制,惯性导航等场合.

关键词： MEMS技术 电容式加速度计 闭环随动式加速度计 振动信号测量

作者: 汤世友 甘景田

作者单位: 中国空气动力研究与发展中心超高速所(四川绵阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国空气动力学会第四届四次空气动力学会测控交流会

会议地点: 鞍山

会议语种:中文

页码: 149-153

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）