聚合物光波导热光开关/调制器

摘要：

本文介绍了使用聚合物材料制作光波导热光开关/调制器的材料选择、设计方法和制作流程,分析了聚合物材料在热光器件方面的优缺点以及工艺中的具体要求,提供了器件制作的完整工艺流程,并对器件进行了测试,开关功率为10mW,消光比为13.7dB,测试结果表明器件已接近实用化水平.

关键词： 聚合物材料 热光开关 热光调制器 光波导 集成光学器件

作者: 鹿飞 宋琼 彭海波 吴伯瑜 张兵 罗淑云 余志滨

作者单位: 清华大学电子工程系(北京) 清华大学化学工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第十一次光纤通信暨十二届集成光学学术会议(OFCIO”2003)

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 805-808

在线出版日期: 2003-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）