DFB-LD的光栅干法刻蚀研究

摘要：

在光栅的制作中有两种方法:一个是湿法,另一个是干法.由于DBF激光器的光栅用湿法腐蚀的方法有很多缺点,我们就采用了干法腐蚀在InP和InGAaAsP上做实验.本文介绍一种新的方法,SiN作掩蔽模用全息光刻,反应离子刻蚀的方法作光栅,经过摸索,做出了比较好的一级光栅.

关键词： 分布式布拉格反馈 干法腐蚀 反应离子刻蚀 全息光刻 DFB激光器 光栅 干法刻蚀

作者: 罗飚 沈坤 阳洪涛 谈春雷

作者单位: 武汉邮电科学研究院 武汉电信器件公司(湖北武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第十一次光纤通信暨十二届集成光学学术会议(OFCIO”2003)

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 732-735

在线出版日期: 2003-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）