GaAs/GaAlAs平面光波光路芯片测试技术的研究

摘要：

以Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料制作双异质结构和多量子阱(乃至光子晶体)平面光波光路器件已经成为世界研究热点,在研发过程中其芯片测试是极其重要的环节.本文以耦合器和滤波器芯片为例研究了GaAs/GaAlAs平面光波光路的光学测试技术.首先分析了测试系统范式,并依据其中一个标准建立实验系统,对两种平面光波光路进行测试.最后讨论了其结果和误差,并对系统提出了改进方法.

关键词： GaAs/GaAlAs 平面光波光路 光学测试 芯片测试

作者: 刘旭 蔡纯 肖金标 丁东 张明德 孙小菡

作者单位: 东南大学电子工程系(江苏南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第十一次光纤通信暨十二届集成光学学术会议(OFCIO”2003)

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 585-588

在线出版日期: 2003-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）