关键词： GSMBE生长 晶体管材料 原位掺杂
作者: 黄大定 李建平 林燕霞 高斐
作者单位: 中国科学院半导体研究所材料中心(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 广西北海
会议语种:中文
页码: 21～23
在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）