关键词： GSMBE大组分 SiGe合金 B原位掺杂
作者: 刘金平 黄大定
作者单位: 院半导体所材料中心(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 70～71
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）