微系统中PZT铁电薄膜的制备

摘要：

PZT(Pb(Zr<,x>Ti<,1-x>)O<,3>)作为一种性能优异的功能材料,被广泛应用于微系统中的微型传感器和微型驱动器.本文综述了适用于微系统技术中的PZT铁电薄膜的制备方法,介绍了国内外PZT铁电薄膜制备的最新进展,并对微系统技术中各种PZT铁电薄膜的制备技术进行了评价.

关键词： PZT 铁电薄膜 微系统 微机械电子系统 磁控溅射法 脉冲激光刻蚀法

作者: 鲁健 褚家如 黄文浩

作者单位: 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 82-85

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）