电化学腐蚀工艺与多孔硅的应用
介绍了多孔硅的形成机理和用电化学腐蚀制备多孔硅的几种方法.由于多孔硅的多孔特性,气体可以很容易扩散进去,减少了硅的氧化时间.作为微机械加工的牺牲层材料,多孔硅在微加工中的应用受到重视.文中详细介绍了氧化多孔硅作为牺牲层材料的制作方法,以及应用多孔硅技术制造的MEMS微型镜.文中还介绍了一种新型的用电化学腐蚀工艺制作的光学系统.
MEMS 多孔硅 电化学腐蚀 微型镜 微机械电子系统
魏京信 张文栋 董海峰 李永红
华北工学院(太原)
国内会议
重庆
中文
79-81
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）