RF MEMS器件的研究

摘要：

对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其应用领域进行了综述,并展望了它们未来的发展趋势.

关键词： RF MEMS RF MEMS器件 微机械电容 微机械天线阵列 微机械开关 移动射频装置

作者: 缪旻 金玉丰 武国英

作者单位: 北京大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 7-12

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）