微孔深通道列阵的关键技术及其应用

摘要：

介绍了国内外关于微孔深通道列阵的研究工作进展,给出了初步实验结果,指出了传统工艺中从未遇到的新现象和新问题,提出了解决问题的初步设想,最后展望了微孔深通道绝缘基体的应用前景.

关键词： 微通道列阵 感应耦合等离子体 高长径比 微加工技术 刻蚀实验

作者: 田景全 但唐仁 李野 富丽晨 姜德龙 卢耀华 端木庆铎

作者单位: 长春光学精密机械学院(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 55-57,69

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）