微马达在微机械密码锁中的应用

摘要：

在介绍机械密码锁的工作原理基础上,提出了微机械密码锁对微马达的性能要求,并对几种国内外研制较成功的微马达进行了分析,并涉及到了相应的制造工艺.

关键词： 微马达 微机械密码锁 MEMS 微机电系统 制造工艺

作者: 李枚 高杨

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所,先进传感器与执行器中心(绵阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 488-490

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）