外加电场对纳米晶金薄膜生长的影响研究

摘要：

利用惰性气体沉积法在外加电场的存在下生长了纳米晶金薄膜,并研究了外加电场对薄膜生长的影响;实验表明,外加电场改变了纳米晶金薄膜的结构及电阻率.厚度相同的薄膜其电阻率随外加电场强度的升高而增加,当电场强度大于48V/cm后,已不能得到连续的薄膜.惰性气体沉积法生长纳米晶金薄膜的这种电致效应可通过偏置渗透理论获得初步解释.

关键词： 外加电场 纳米晶金薄膜 惰性气体沉积法 偏置渗透理论 电学性能

作者: 普朝光 黄承彩

作者单位: 昆明物理研究所(昆明)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 485-487

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）