基于硅悬臂梁的纳电子机械技术
论述了基于硅悬臂梁结构的纳电子机械系统技术.利用集成微电子批量制造技术,开发硅基的、具有纳米特征工作尺寸的纳米机械加工技术,实现集成纳电子机械器件的制作.基于纳米厚度的硅悬臂梁,开发了超高灵敏度谐振型传感器和微、纳测量仪器.利用制作的十至百纳米厚度硅悬臂梁传感器,成功地测量了碳纳米管储存氢的能力和铁磁性微粒在外加磁场下作用在悬臂梁上的微力.
纳米机械技术 纳电子机械系统 传感器 悬臂梁 微加工工艺 谐振测试
李昕欣 王跃林 小野崇人 江刺正喜
中国科学院上海冶金研究所传感器国家重点联合实验室(上海) 日本东北大学风险事业实验室(仙台)
国内会议
重庆
中文
445-447
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）