RF MEMS器件的发展现状

摘要：

RF MEMS器件是MEMS技术的重要发展方向之一,本文介绍了RF MEMS器件的发展动态及其关键技术和市场发展趋势,并提出了发展RF MEMS器件的几点考虑.

关键词： MEMS 射频器件 无源元件 微机械电子系统 电感器 MEMS滤波器/谐振器

作者: 徐世六

作者单位: 信息产业部电子二十四所(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 44-47

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）