惯性式压电陶瓷驱动器驱动电源研究

摘要：

研究了一种压电陶瓷驱动器的驱动电源,给出了详细的电路图,分析了如何实现特殊的驱动电源,该驱动电源结构简单,可以产生方波、三角波、正弦波和锯齿波,频率、占空比和电压幅值可以调节,完全满足惯性式压电陶瓷驱动器特殊电源的要求.

关键词： 压电陶瓷驱动器 驱动电源 波形 电压幅值 微机电系统

作者: 刘华 颜国正 丁国清

作者单位: 上海交通大学信息检测及仪器系820研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 442-444

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）