URE-2000/25型紫外光刻机控制系统

摘要：

介绍了URE-2000/25型紫外光刻机的整机技术指标以及对控制系统的功能要求;较详细地叙述了控制系统的硬件结构组成及控制软件.此控制系统采用了单片机控制技术,具有电路简单、控制灵活、操作方便、运行可靠、成本低廉等特点.

关键词： 光刻机 单片机 定时 控制软件 输入/输出接口

作者: 罗正全 胡松

作者单位: 中国科学院光电技术研究所(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 440-441

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）